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MEMS制造工藝

MEMS制造工藝

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發布日期:2021-11-15

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來源:吉林交通職業技術學院

作者:孫敏

簡介:
MEMS制造工藝是集成電路IC制造工藝的一支,但與傳統IC制造工藝相比存在明顯差異。傳統IC制造的目的是在單位面積上集成盡可能多的晶體管,如英特爾最新i7處理器可集成數十億只晶體管,與之相比,MEMS傳感器件集成元件數量少、單個元件體積較大,因此MEMS制造工藝并非一味追求更小的制程節點與更高的集成度,而是更加注重材料的結構機械特性、材質化學特性以及刻蝕深度、精度、應力控制等每一步工藝的準確實現。

適用專業(1)

    高職(1):

  • 工業機器人技術
  • 展開

適用課程(1)

  • 測試與傳感器技術
  • 展開
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